진공 기술 해석
<div class="booxen_detail_left booxen_tl" style="width: 900px; margin: 0 auto; float:none; text-align:left; "> <h3 style="padding: 0 0 4px 0px; f color:#323232; margin-top:30px; position:relative; z-index:1; clear:both; border-bottom:1px solid #7f7f7f;line-height:180%;font-family: '맑은 고딕', 'Gulim';font-size: 20px; font-weight: bold;"><div class="tit" style="vertical-align:-2px; margin-right:6px;text-align:left;">■ 책소개</div><span class="topBtn" style="position: absolute; right: 0; top: 9px;text-align:left;"></span></h3> <div class="detail_con" style="width: 745px;text-align:left;margin-top:10px;"><span style="display:block;text-align:left;"> 진공 기술의 이론과 실제!<br>진공(Vacuum)이란 단어의 뜻은 아무것도 없는 빈 공간(void or empty)을 말하지만 실용적으로는 대기압보다 낮은 압력으로 기체가 채워져 있는 공간을 말한다.<br>진공 기술은 반도체/Display 산업뿐만 아니라 의료 및 항공, 그리고 우리의 가정 등 다양한 분야에서 활용되며 성장 중이다. 특히 최근 진공기술은 여러 산업분야의 핵심기술로 인식되고, 그 응용분야는 더욱 다양화하고 수요도 계속 증가하는 추세이다. 하지만 관련한 책은 이론적으로만 접근하여 실무에서 활용성이 떨어지는 것이 현실이다. 또한 진공 기술 분야는 산업적으로 중요한 데 비해 이 분야에 종사하는 엔지니어들은 이론적인 바탕보다는 경험과 추론으로 문제를 해결하는 경우가 많았고, 진공 기술에 대한 이해도가 낮은 편이다.<br>이에 본 서는 저자가 실무에서 그동안 쌓은 경험과 데이터를 이론적으로 분석하고, 해석함으로써 좀 더 실질적으로 진공 기술에 대해 이해할 수 있도록 다음과 같이 정리하였다.<br><br> 진공에 대한 정의와 진공 기술을 이해하는 데 필요한 이론적 기술을 제시<br> 진공 장비 및 공정에서 접하는 각종 진공 데이터에 대한 진공 해석 설명<br> 진공을 만들기 위한 진공 펌프와 진공을 측정하는 진공 게이지 및 진공 장비 소개</div> <h3 style="padding: 0 0 4px 0px; f color:#323232; margin-top:30px; position:relative; z-index:1; clear:both; border-bottom:1px solid #7f7f7f;line-height:180%;font-family: '맑은 고딕', 'Gulim';font-size: 20px; font-weight: bold;"><div class="tit" style="vertical-align:-2px; margin-right:6px;text-align:left;">■ 목차</div><span class="topBtn" style="position: absolute; right: 0; top: 9px;text-align:left;"></span></h3> <div class="detail_con" style="width: 745px;text-align:left;margin-top:10px;"><span style="display:block;text-align:left;"> CHAPTER 1 진공이란<br>:: 진공의 정의<br>:: 압력의 정의<br>:: 압력의 단위<br>:: 진공의 분류<br>:: 진공 기술 개발사<br>:: 진공의 응용<br><br>CHAPTER 2 진공 기술 이론<br>:: 진공 기술 이론<br>:: 기체의 운동 법칙<br>:: 평균자유행로<br>:: 충돌률(충돌 유량)<br>:: 기체의 수송 현상<br>:: 증기압<br>:: 유량, 기체 방출률<br>:: 기체 흐름<br>:: 기체와 고체 표면의 반응<br>:: 대기와 진공 상태, 물(수분)의 영향 및 제거 방법<br><br>CHAPTER 3 진공 해석<br>:: 진공 해석<br>:: 배기 시간의 계산<br>:: 압력 강하 과정<br>:: 압력 강하 해석<br>:: 기체 방출의 계산<br>:: 배기 속도 계산<br>:: 압력 계산<br>:: 진공 해제<br>:: 압력 상승량 계산<br>:: 압력 증가의 원인<br>:: 누출의 정의<br>:: 기체 방출의 측정<br>:: 대기 환경과 N2 환경, 진공 환경의 비교<br>:: 전도의 의미<br>:: 전도의 연결<br>:: 전도의 계산(분자류)<br>:: 유효 배기 속도의 계산<br>:: 전도의 계산(점성류)<br>:: 전도의 계산(점성류에서 분자류까지)<br><br>CHAPTER 4 진공 만들기<br>:: 진공에서 필요한 기본 요소들<br>:: 진공 만들기<br>:: 진공 펌프의 종류<br>:: 건식 펌프<br>:: 크라이오 펌프<br>:: 터보 분자 펌프<br>:: 진공 측정<br>:: 전기용량 게이지<br>:: 열전대 게이지<br>:: 이온 게이지<br>:: 잔류 가스 분석기<br><br>CHAPTER 5 진공 장비<br>:: 진공 장비의 종류<br>:: 증착 장비<br>:: 스퍼터링 장비<br>:: 화학 증착 장비<br>:: 진공 장비의 구분</div> <h3 style="padding: 0 0 4px 0px; f color:#323232; margin-top:30px; position:relative; z-index:1; clear:both; border-bottom:1px solid #7f7f7f;line-height:180%;font-family: '맑은 고딕', 'Gulim';font-size: 20px; font-weight: bold;"><div class="tit" style="vertical-align:-2px; margin-right:6px;text-align:left;">■ 저자소개</div><span class="topBtn" style="position: absolute; right: 0; top: 9px;text-align:left;"></span></h3> <div class="detail_con" style="width: 745px;text-align:left;margin-top:10px;"><span style="display:block;text-align:left;"> 저자 : 이제형 <br>학력<br>서울 대광고등학교 졸업(1985년)<br>한양대학교 자연과학대학 물리학과 학사/석사 졸업(1991년)<br>현재 LG전자 생산기술원 책임연구원(1994년~)<br>경력<br>LG전자/일본 Alps전기 합작법인 Frontec 차세대 LCD 장비 개발 파견연구원(1996년)<br>세계 최대 사이즈 PDP MgO 증착기 개발(2002년)<br>국내 최초 2세대 OLED 증착/Encapsulation 라인 개발(2005년)<br>세계 최초 8세대 OLED TV 증착/Encapsulation 라인 개발 LG전자 총괄리더(2012~2015년)<br>LG전자/LG Display OLED TV 개발 교환연구원(2012~2015년)</div> </div>